Method of manufacturing stamp for plasmonic nanolithography apparatus and plasmonic nanolithography apparatus

WO2013191341 Art A1 27. Dezember 2013

Anmelder: Korea Institute Of Machinery & Materials 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2013191341
Aktenzeichen: EP12879265
Anmeldetag: 17. Dezember 2012
Veröffentlichung: 27. Dezember 2013
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/00H01L21/027G03F7/021B29C33/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Institute Of Machinery & Materials
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Korea Institute of Machinery & Materials

Das Korea Institute of Machinery & Materials ist ein staatliches südkoreanisches Forschungsinstitut für Maschinenbau und Werkstofftechnik. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug-, Fertigungs- und Drucktechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Verfahrenstechnik und Messtechnik. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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