Polymer compound, resin composition for photoresists, and method for producing semiconductor

WO2014002810 Art A1 3. Januar 2014

Anmelder: Daicel Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014002810
Aktenzeichen: EP13810093
Anmeldetag: 17. Juni 2013
Veröffentlichung: 3. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C08F220/28C08F220/18G03F7/039H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Daicel Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Daicel Corporation

Daicel Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Celluloseacetat, Airbag-Gasgeneratoren und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik

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