Double-headed grinding device and method for double-headed grinding of workpieces
WO2014006818
Art A1
9. Januar 2014
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014006818
- Aktenzeichen
- EP13813038
- Anmeldetag
- 3. Juni 2013
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B24B7/17B24B41/06H01L21/304
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Vertreten von
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