Spatial light modulator and exposure apparatus

WO2014006831 Art A1 9. Januar 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014006831
Aktenzeichen: EP13813420
Anmeldetag: 19. Juni 2013
Veröffentlichung: 9. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/08B81B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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