Photo-alignment exposure device and photo-alignment exposure method

WO2014006944 Art A1 9. Januar 2014

Anmelder: V Technology Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014006944
Aktenzeichen
EP13813578
Anmeldetag
29. März 2013
Veröffentlichung
9. Januar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20G02F1/1337
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
V Technology Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 V Technology

V Technology ist ein japanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für Displays und Halbleiter. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik, ergänzt um Fertigungs- und Messtechnik. Anmeldungen laufen von 2005 bis in die Gegenwart.

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