Deposition of n-metal films comprising aluminum alloys

WO2014008365 Art A1 9. Januar 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014008365
Aktenzeichen
EP13813387
Anmeldetag
3. Juli 2013
Veröffentlichung
9. Januar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/12C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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