Lithographic cluster system, method for calibrating a positioning device of a lithographic apparatus

WO2014009100 Art A1 16. Januar 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014009100
Aktenzeichen: EP13728417
Anmeldetag: 14. Juni 2013
Veröffentlichung: 16. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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