Acquisition method for s-parameters in microwave introduction modules, and malfunction detection method

WO2014010356 Art A1 16. Januar 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014010356
Aktenzeichen: EP13816152
Anmeldetag: 11. Juni 2013
Veröffentlichung: 16. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/00C23C16/511H01L21/304H01L21/3065H01L21/31H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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