Mask blank and method for manufacturing phase-shift mask

WO2014010408 Art A1 16. Januar 2014

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014010408
Aktenzeichen: EP13816936
Anmeldetag: 25. Juni 2013
Veröffentlichung: 16. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/26H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HOYA Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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