Semiconductor device fabrication method

WO2014012271 Art A1 23. Januar 2014

Anmelder: Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014012271
Aktenzeichen
EP12881187
Anmeldetag
30. Juli 2012
Veröffentlichung
23. Januar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/28H01L21/283H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Institute Of Microelectronics, Chinese Academy Of Sciences
Land
🇨🇳 China
🇨🇳 Institute of Microelectronics, Chinese Academy of Sciences

Chinesisches Forschungsinstitut der Chinese Academy of Sciences mit Schwerpunkt auf Mikroelektronik und Halbleitertechnologie. Patente betreffen Chipdesign und Halbleiterfertigung.

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