An alkyltelluroether precursor for use in the single source chemical vapour deposition of a metal telluride

WO2014013214 Art A1 23. Januar 2014

Anmelder: University of Southampton 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014013214
Aktenzeichen: EP13741810
Anmeldetag: 16. Juli 2013
Veröffentlichung: 23. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/30H01L45/00H01L21/02C07C391/00C07C395/00C23C16/02C23C16/04C23C16/448

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: University of Southampton
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 University of Southampton

Die University of Southampton ist eine britische Universität mit starker Ausrichtung auf Photonik- und Materialforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Medizintechnik und Gesundheit, ergänzt um Mess- und Prüftechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

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