Exposure apparatus, method of obtaining amount of regulation of object to be regulated, program, and method of manufacturing article

WO2014013856 Art A1 23. Januar 2014

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014013856
Aktenzeichen: EP13819446
Anmeldetag: 25. Juni 2013
Veröffentlichung: 23. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G02B7/02G02B13/24G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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