Organosilane precursors for ald/cvd silicon-containing film applications

WO2014015241 Art A1 23. Januar 2014

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014015241
Aktenzeichen
EP13819786
Anmeldetag
19. Juli 2013
Veröffentlichung
23. Januar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/07
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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