Susceptor, crystal growing apparatus, and crystal growing method

WO2014017650 Art A1 30. Januar 2014

Anmelder: DOWA Electronics Materials Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014017650
Aktenzeichen
EP13822976
Anmeldetag
26. Juli 2013
Veröffentlichung
30. Januar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/458H01L21/683
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
DOWA Electronics Materials Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 DOWA Electronics Materials

DOWA Electronics Materials ist ein japanisches Unternehmen der DOWA-Gruppe für elektronische Werkstoffe und Metallpulver. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Fertigungstechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen reichen von 2001 bis in die Gegenwart.

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