Innovative top-coat approach for advanced device on-wafer particle performance

WO2014018835 Art A1 30. Januar 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc., Sun, Jennifer Y., Kanungo, Biraja P., Lubomirsky, Dmitry, Fioruzdor, Vahid 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014018835
Aktenzeichen: EP13823103
Anmeldetag: 26. Juli 2013
Veröffentlichung: 30. Januar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Applied Materials, Inc.
Sun, Jennifer Y.
Kanungo, Biraja P.
Lubomirsky, Dmitry
Fioruzdor, Vahid
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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