Sintered oxide body and sputtering target

WO2014021334 Art A1 6. Februar 2014

Anmelder: Tosoh Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014021334
Aktenzeichen: EP13826301
Anmeldetag: 30. Juli 2013
Veröffentlichung: 6. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/00C23C14/34H01L21/363

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tosoh Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tosoh Corporation

Japanisches Chemieunternehmen, das Petrochemikalien, Spezialchemikalien und Zement herstellt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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