Semiconductor structure, semiconductor device, and method for producing semiconductor structure

WO2014021365 Art A1 6. Februar 2014

Anmelder: National Institute Of Advanced Industrial Science, Central Research Institute of Electric Power Industry 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014021365
Aktenzeichen
EP13825369
Anmeldetag
31. Juli 2013
Veröffentlichung
6. Februar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/42C30B25/20C30B29/36
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
National Institute Of Advanced Industrial Science
Central Research Institute of Electric Power Industry
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Staatliches japanisches Forschungsinstitut (AIST), das breit angelegte angewandte Forschung in Bereichen wie Materialwissenschaft, Energie, Elektronik und Biotechnologie betreibt.

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