Method for forming pattern for electronic device, electronic device, and pattern forming device

WO2014021423 Art A1 6. Februar 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, National Institute Of Advanced Industrial Science, DIC Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014021423
Aktenzeichen: EP13825283
Anmeldetag: 1. August 2013
Veröffentlichung: 6. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336B05D1/38B05D7/00H01L21/288H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
National Institute Of Advanced Industrial Science
DIC Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 DIC Corporation

DIC Corporation ist ein japanischer Chemiekonzern (früher Dainippon Ink and Chemicals) mit Schwerpunkt auf Druckfarben, Pigmenten und organischen Feinchemikalien.

946 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von