Active anti-vibration apparatus, anti-vibration method, processing device, inspection device, exposure device, and workpiece manufacturing method

WO2014021471 Art A1 6. Februar 2014

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014021471
Aktenzeichen: EP13752945
Anmeldetag: 30. Juli 2013
Veröffentlichung: 6. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: F16F15/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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