Intracavity loss element for power amplifier

WO2014022160 Art A2 6. Februar 2014

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014022160
Aktenzeichen
EP13825747
Anmeldetag
23. Juli 2013
Veröffentlichung
6. Februar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
G21K5/02H01S3/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, LLC
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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