Dry etching device and dry etching method

WO2014024216 Art A1 13. Februar 2014

Anmelder: Pioneer Corporation, Pioneer Micro Technology Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014024216
Aktenzeichen: EP12882551
Anmeldetag: 6. August 2012
Veröffentlichung: 13. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Pioneer Corporation
Pioneer Micro Technology Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Pioneer

Japanisches Elektronikunternehmen mit Sitz in Tokio. Pioneer ist bekannt für Unterhaltungselektronik, Car-Audio- und Navigationssysteme sowie Displaytechnologien und Audio- und Videotechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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