Production method for epitaxial silicon wafer and epitaxial silicon wafer

WO2014024404 Art A1 13. Februar 2014

Anmelder: Sumco Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014024404
Aktenzeichen: EP13828170
Anmeldetag: 24. Juli 2013
Veröffentlichung: 13. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/205C23C16/24C30B25/20H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumco Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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