Object-swapping method, object-swapping system, exposure apparatus, method for manufacturing flat-panel display, and method for manufacturing device

WO2014024483 Art A1 13. Februar 2014

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014024483
Aktenzeichen: EP13827283
Anmeldetag: 7. August 2013
Veröffentlichung: 13. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B65G49/06H01L21/027H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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