Methods for controlling defects for extreme ultraviolet lithography (euvl) photomask substrate

WO2014028192 Art A1 20. Februar 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014028192
Aktenzeichen: EP13829298
Anmeldetag: 25. Juli 2013
Veröffentlichung: 20. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F1/72

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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