Method of performing edx in a charged particle microscope

WO2014028488 Art A1 20. Februar 2014

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014028488
Aktenzeichen: EP13756750
Anmeldetag: 13. August 2013
Veröffentlichung: 20. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/28H01J37/244H01J37/256

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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