Verfahren und Vorrichtung zum Lichtinduzierten oder Lichtunterstützten Abscheiden von Metall auf einer Oberfläche eines Halbleiterbauelements
WO2014029667
Art A2
27. Februar 2014
Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2014029667
- Aktenzeichen
- EP13748067
- Anmeldetag
- 13. August 2013
- Veröffentlichung
- 27. Februar 2014
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C18/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
10.123 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.