Verfahren und Vorrichtung zum Lichtinduzierten oder Lichtunterstützten Abscheiden von Metall auf einer Oberfläche eines Halbleiterbauelements

WO2014029667 Art A2 27. Februar 2014

Anmelder: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014029667
Aktenzeichen
EP13748067
Anmeldetag
13. August 2013
Veröffentlichung
27. Februar 2014
Rechtsraum
WO
IPC
C23C18/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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