Method for treating exhaust gas containing inorganic halogenated gas

WO2014030766 Art A1 27. Februar 2014

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014030766
Aktenzeichen: EP13831562
Anmeldetag: 21. August 2013
Veröffentlichung: 27. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/68B01J20/06B01J20/18B01J20/26B01J20/34B01J41/14B01J49/00H01L21/205H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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