Methods and apparatus for enhanced gas flow rate control

WO2014031378 Art A1 27. Februar 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014031378
Aktenzeichen: EP13830326
Anmeldetag: 12. August 2013
Veröffentlichung: 27. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: F16K37/00F16K21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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