Method for creating topographical patterns in polymers via surface energy patterned films and the marangoni effect

WO2014031432 Art A1 27. Februar 2014

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014031432
Aktenzeichen: EP13831773
Anmeldetag: 15. August 2013
Veröffentlichung: 27. Februar 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027G03F7/26B44C1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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