Method for preparing independent bigrid finfet on bulk silicon

WO2014032361 Art A1 6. März 2014

Anmelder: Peking University 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014032361
Aktenzeichen: EP12883509
Anmeldetag: 11. Oktober 2012
Veröffentlichung: 6. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/336H01L21/8232

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Peking University
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Peking University

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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