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WO2014032887 Art A1 6. März 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014032887
Aktenzeichen: EP13742024
Anmeldetag: 30. Juli 2013
Veröffentlichung: 6. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F1/82B08B7/00A47L25/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: ASML Netherlands B.V.
ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Haushalts-, Möbel- & Konsumgüter Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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