Real-Time Reticle Curvature Sensing

WO2014032897 Art A1 6. März 2014

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014032897
Aktenzeichen: EP13742652
Anmeldetag: 1. August 2013
Veröffentlichung: 6. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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