Vapor deposition device, vapor deposition method, organic el display, and organic el lighting device

WO2014034499 Art A1 6. März 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Kyushu University, National University Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014034499
Aktenzeichen: EP13833729
Anmeldetag: 21. August 2013
Veröffentlichung: 6. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24H01L51/50H05B33/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Kyushu University, National University Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

878 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von