Multi directional illumination for a microscope and microscope

WO2014036120 Art A1 6. März 2014

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014036120
Aktenzeichen: EP13833853
Anmeldetag: 28. August 2013
Veröffentlichung: 6. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/06G02B21/14G01B9/04G01B11/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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