Epitaxial wafer and method for producing same

WO2014038105 Art A1 13. März 2014

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014038105
Aktenzeichen
EP13835208
Anmeldetag
8. März 2013
Veröffentlichung
13. März 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/205C23C16/20C23C16/34H01L21/20H01L33/32
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Riken
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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