Variable resistance element and method for producing same

WO2014038152 Art A1 13. März 2014

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014038152
Aktenzeichen: EP13835973
Anmeldetag: 27. August 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L27/105H01L45/00H01L49/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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