Mask data generating method, program and information processing apparatus for execution of the same

WO2014038181 Art A1 13. März 2014

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014038181
Aktenzeichen: EP13834710
Anmeldetag: 3. September 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/70H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Canon Kabushiki Kaisha
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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