Fluorine-containing compound, substrate for pattern formation, photodegradable coupling agent, pattern formation method, and compound

WO2014038579 Art A1 13. März 2014

Anmelder: Kanagawa University, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014038579
Aktenzeichen: EP13836016
Anmeldetag: 4. September 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: C07F7/18C07C49/84C07C205/37C07C205/45C09K3/00G03F7/004H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: Kanagawa University
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

5.286 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Organische Chemie

Vertreten von