Light-exposure device and substrate treatment device using same

WO2014038795 Art A1 13. März 2014

Anmelder: Kyungpook National University Industry- Academic Cooperation Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014038795
Aktenzeichen: EP13835537
Anmeldetag: 9. August 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/26G03F7/34

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kyungpook National University Industry- Academic Cooperation Foundation
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Kyungpook National University Industry-Academic Cooperation Foundation

Technologietransfer-Stiftung der staatlichen Kyungpook National University in Südkorea, zuständig für Forschungskooperationen und Patentverwertung. Patente decken ein breites Spektrum universitärer Forschung ab.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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