Seed laser mode stabilization system and method

WO2014039221 Art A1 13. März 2014

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014039221
Aktenzeichen: EP13834526
Anmeldetag: 13. August 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G04F7/00G04F8/00G02B26/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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