Direct liquid injection of solution based precursors for atomic layer deposition

WO2014039597 Art A2 13. März 2014

Anmelder: Linde Aktiengesellschaft, Ma, Ce 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014039597
Aktenzeichen: EP13836013
Anmeldetag: 5. September 2013
Veröffentlichung: 13. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/443

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Linde Aktiengesellschaft
Ma, Ce
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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