Method and apparatus for massively parallel multi-wafer test

WO2014040071 Art A1 13. März 2014

Anmelder: Advantest Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014040071
Aktenzeichen
EP13835790
Anmeldetag
10. September 2013
Veröffentlichung
13. März 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/66
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Advantest Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

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