Schedule preparation device, substrate processing device, schedule preparation program, schedule preparation method, and substrate processing method

WO2014045709 Art A1 27. März 2014

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014045709
Aktenzeichen: EP13839112
Anmeldetag: 25. Juli 2013
Veröffentlichung: 27. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/02G05B19/418H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik

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