Charged particle microscope system and measurement method using same

WO2014045746 Art A1 27. März 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014045746
Aktenzeichen: EP13839736
Anmeldetag: 7. August 2013
Veröffentlichung: 27. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/244

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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