Method for producing filtration filter

WO2014046151 Art A1 27. März 2014

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014046151
Aktenzeichen: EP13838861
Anmeldetag: 11. September 2013
Veröffentlichung: 27. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: B01D69/00B01D69/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von