Cleaning method and cleaning device

WO2014046229 Art A1 27. März 2014

Anmelder: Kurita Water Industries Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014046229
Aktenzeichen: EP13838575
Anmeldetag: 20. September 2013
Veröffentlichung: 27. März 2014
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304B08B3/12H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kurita Water Industries Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kurita Water Industries

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, spezialisiert auf Wasseraufbereitungstechnologien und Chemikalien für industrielle Anwendungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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