Tape Assisted Single Step Peel-Off On Sin Layer Above Metal

WO2014046978 Art A1 27. März 2014

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014046978
Aktenzeichen
EP13838870
Anmeldetag
13. September 2013
Veröffentlichung
27. März 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L51/56H05B33/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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