Optical system for a microlithographic projection exposure apparatus and microlithographic exposure method

WO2014048828 Art A1 3. April 2014

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014048828
Aktenzeichen: EP13776428
Anmeldetag: 19. September 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B27/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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