Pattern measurement device, evaluation method of polymer compounds used in self-assembly lithography, and computer program

WO2014050305 Art A1 3. April 2014

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2014050305
Aktenzeichen: EP13841198
Anmeldetag: 2. August 2013
Veröffentlichung: 3. April 2014
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04G01B15/00G01N23/225G06T7/60H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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