Method for manufacturing substrate with multilayer reflective film

WO2014050831 Art A1 3. April 2014

Anmelder: HOYA Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2014050831
Aktenzeichen
EP13840752
Anmeldetag
24. September 2013
Veröffentlichung
3. April 2014
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027G03F1/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HOYA Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hoya

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, aktiv in den Bereichen optische Gläser, Halbleiterfotomasken und medizinische Endoskopie- sowie Augenheilkundeprodukte.

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